[20p-A8-1~8] 5.3 光制御

[20p-A8-2] SOAとの集積化に向けたInAs/InAlGaAs多重積層量子ドットのICP-RIEエッチング法組成混合による直線導波路の低損失化の検討

^○（M2）松下明日香¹，松本敦¹，武井勇樹¹，赤羽浩一²，松島裕一¹，宇高勝之¹ (早大理工¹，情報通信研究機構²)

キーワード：量子ドット,集積化,組成混合