[20p-B4-1~8] 13.5 Siプロセス技術

△ [20p-B4-7] NiGe/Ge接合へのPイオン注入によるショットキーバリア変調

^○箕浦佑也¹，細井卓治¹，松垣仁²，黒木伸一郎²，志村考功¹，渡部平司¹ (阪大院工¹，広大RBNS²)

キーワード：NiGe,ショットキーバリア,リン