2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[27a-PB2-1~24] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2013年3月27日(水) 09:30 〜 11:30 PB2 (第二体育館)

[27a-PB2-19] 対向ターゲット式スパッタ法を用いた酸化亜鉛系薄膜トランジスタの作製 (9:30 AM ~ 11:30 AM)

Yusuke Okada,森田竜次,前元利彦,佐々誠彦 (大阪工大)

キーワード:ZnO,対向ターゲット式スパッタ,RFスパッタ