[27a-PB4-1~25] 21.1 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[27a-PB4-4] アモルファスIGZOデバイス試作のためのドライエッチングプロセス (9:30 AM ～ 11:30 AM)

^○清水貴思 (産総研ナノエレ)

キーワード：IGZO、RIE、ドライエッチング