2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15.結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[27p-G20-1~10] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2013年3月27日(水) 13:30 〜 16:15 G20 (B5号館 4F-2404)

[27p-G20-10] シードレス溶融成長による偏析フリー大粒径SiGeの形成 (4:00 PM ~ 4:15 PM)

加藤立奨,松村亮,東條友樹,佐道泰造,宮尾正信 (九州大・院システム情報)

キーワード:SiGe、シードレス、溶融成長