[27p-PA4-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス

[27p-PA4-6] スパッタ／イオン照射複合プロセスにおけるArイオンエネルギー測定 (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.2)

^○江尻雅成，宮山太郎，池永訓昭，岸陽一，矢島善次郎，作道訓之 (金沢工大)

キーワード：スパッタリング、イオン照射