[27p-PA4-7] Langmuir Probe Characterization of Hydrogen Plasma for the Production of Nanocrystalline Diamond (1:30 PM ～ 3:30 PM) (8.2)
キーワード：Langmuir probe、Nanocrystalline、ECR plasma
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8. プラズマエレクトロニクス(ポスター講演)
[27p-PA4-1~17] 8. プラズマエレクトロニクス
2013年3月27日(水) 13:30 〜 15:30 PA4 (第一体育館)