[28a-A5-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[28a-A5-1] 中性粒子ビームによるシリコンエッチング（7） (9:15 AM ～ 9:30 AM)

^○久保田智広^1,2，三輪和弘²，アルタンスック バトナサン¹，大塚晋吾³，渡辺尚貴³，岩崎拓也³，入江康郎³，小野耕平³，杉山正和^2,4，寒川誠二^1,2,5 (東北大流体研¹，BEANS²，みずほ情報総研³，東大工⁴，東北大WPI-AIMR⁵)

キーワード：中性粒子ビーム、高アスペクト比エッチング、ダメージフリープロセス