[28a-A5-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[28a-A5-4] 中性粒子ビームエッチングの加工形状シミュレーション(4) (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○望月俊輔¹，渡辺尚貴²，大塚晋吾²，岩崎拓也²，小野耕平²，入江康郎²，三輪和弘³，久保田智弘^3,4，杉山正和^3,5，寒川誠二^3,4 (数理システム¹，みずほ情報総研²，BEANSプロジェクト³，東北大⁴，東大⁵)

キーワード：中性粒子ビームエッチング