[28a-A5-1~6] 8.4 プラズマエッチング

[28a-A5-6] ▲In situ Surface analysis of GaAs irradiated by Cl plasma beams (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○朴鐘胤¹，竹内拓也¹，石川健治¹，節原裕一²，竹田圭吾¹，近藤博基¹，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，阪大工²)

キーワード：GaAs