[28a-A6-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[28a-A6-8] 水素含有DLC(ta-C:Hおよびa-C:H)膜のTDS分析 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○田上英人¹，角口公章¹，須田善行¹，滝川浩史¹，神谷雅男²，瀧真³，長谷川祐史³，辻信広³，サーレ アブスアイリキ⁴ (豊橋技科大¹，伊藤光学工業²，オンワード技研³，日立ツール⁴)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、昇温脱離質量分析、昇温速度