[28a-G21-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[28a-G21-7] ナノチャンネルFIELO法により作製した GaNテンプレートの光学特性 (10:45 AM ～ 11:00 AM)

^○南部優賢¹，真鍋仁志¹，内田健太¹，山口敦史¹，後藤裕輝²，砂川晴夫²，松枝敏晴²，岡田愛姫子³，篠原秀敏⁴，西原浩巳⁴，後藤博史⁴，水野潤³，碓井彰² (金沢工大¹，古河機械金属²，早大³，東芝機械⁴)

キーワード：GaN、残留歪み、反射スペクトル