[28a-G22-1~13] 15.6 IV族系化合物

[28a-G22-8] 4H-SiC(0001)Si面上ホモエピタキシャル成長のオフ角依存性 (11:00 AM ～ 11:15 AM)

^○田村謙太郎^1,3，工藤千秋^1,4，升本恵子^1,2，児島一聡^1,2 (ＦＵＰＥＴ¹，産総研²，ローム³，パナソニック⁴)

キーワード：ステップバンチング、低オフ角、化学気相成長