[28p-B9-1~10] 9.3 ナノエレクトロニクス

[28p-B9-7] メタルマスクを用いた数nmサイズナノギャップ電極の作製 (4:15 PM ～ 4:30 PM)

^○内藤泰久¹，大川恵里²，大畑達彦²，堀川昌代¹，王東方² (産総研ナノシステム¹，茨城大工²)

キーワード：ナノギャップ電極、電界破断、ナノギャップスイッチ効果