[28p-B9-1~10] 9.3 ナノエレクトロニクス

[28p-B9-9] 集積化ナノギャップでのエレクトロマイグレーションによる数nm級ギャップ制御の検討 (4:45 PM ～ 5:00 PM)

^○平田晃大，須田隆太郎，伊藤光樹，石井聡一，白樫淳一 (東京農工大院工)

キーワード：エレクトロマイグレーション、集積化、ナノギャップ