[29a-B7-1~12] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[29a-B7-4] C₄F₈添加CH₄/H₂プラズマ中の金属微粒子表面におけるカーボンナノチューブの生成 (9:45 AM ～ 10:00 AM)

^○（M1）黒田将成¹，伊勢村友哉¹，高橋和生¹，西尾弘司² (京都工芸繊維大電子システム工学¹，京都工芸繊維大数理・自然部門²)

キーワード：カーボンナノチューブ、金属微粒子、プラズマCVD