[29a-B8-1~10] 8.2 プラズマ診断･計測

[29a-B8-3] 吸引プラズマによるエッチング反応生成物のレーザー誘起蛍光法を用いた観測 (9:30 AM ～ 9:45 AM)

^○宮脇淳¹，安藤淳¹，久保利隆¹，堀江智之¹，田中深幸¹，高橋賢²，白山裕也²，横須賀俊太郎²，岩瀬千克²，諏郷智久²，林明宏²，樫村健太²，新堀俊一郎²，徳本洋志²，清水哲夫¹ (産総研¹，三友製作所²)

キーワード：plasma、etching、laser