[29a-B8-1~10] 8.2 プラズマ診断･計測

[29a-B8-6] ｢講演奨励賞受賞記念講演｣（15分）
窒化ガリウム（GaN）向けサファイア基板の周波数領域型低コヒーレンス干渉計による温度計測(Ⅱ) (10:30 AM ～ 10:45 AM)

^○堤隆嘉¹，竹田圭吾¹，石川健治¹，近藤博基¹，太田貴之²，伊藤昌文²，関根誠¹，堀勝¹ (名大院工¹，名城大理工²)

キーワード：温度計測