[29a-G7-1~11] 22.1 合同セッションL（MEMS，NEMSの基礎と応用：異種機能集積化）

[29a-G7-5] 表面活性化処理を用いた金属/絶縁体混在基板の直接接合 (10:00 AM ～ 10:15 AM)

^○萩原啓¹，後藤正英^1,2，大竹浩¹，井口義則¹，更屋拓哉²，年吉洋²，日暮栄治²，平本俊郎² (ＮＨＫ技研¹，東大²)

キーワード：接合、表面活性化