[29p-B8-1~10] シリコン系薄膜形成技術の新展開

[29p-B8-8] △ブルーレーザアニールによるSi膜中のスパッタリングガスの挙動 (5:00 PM ～ 5:15 PM)

^○西ノ原拓磨，知念怜，岡田竜弥，野口隆 (琉球大工)

キーワード：スパッタ、BLDA、EDX