[29p-G16-1~21] 15.8 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥

[29p-G16-3] シリコン結晶成長における熱応力の格子欠陥形成への影響 (2:00 PM ～ 2:15 PM)

^○白井光雲¹，阿部孝夫² (阪大・産研¹，信越半導体²)

キーワード：熱応力、格子欠陥形成