[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-10] 4H-SiC熱酸化膜のUVおよび酸素ラジカル処理による改質 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○佐藤旦¹，黒木伸一郎¹，石川誠治^1,2，前田知徳^1,2，瀬崎洋^1,2，吉川公麿¹ (ナノデバイス¹，フェニテックセミコン²)

キーワード：SiC、酸化膜