[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-12] 4H-SiCSBD逆方向リーク電流の犠牲酸化による低減効果 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○石川誠治^1,2，前田知徳^1,2，瀬崎洋^1,2，黒木伸一郎¹，吉川公麿¹ (広島大ナノデバイス・バイオ融合科学研究所¹，フェニテックセミコンダクター²)

キーワード：SiC