[29p-PB4-1~25] 15.6 IV族系化合物

[29p-PB4-7] CMPにて平坦化した4H-SiCエピ表面のゲート絶縁膜信頼性 (1:30 PM ～ 3:30 PM)

^○山田敬一¹，石山修¹，田村謙太郎¹，山下任¹，下里淳²，加藤智久^1,2，先崎純寿^1,2，松畑洋文^1,2，北畠真¹ (ＦＵＰＥＴ¹，産総研²)

キーワード：信頼性