PDF ダウンロード スケジュール 8 いいね! 0 11:30 〜 11:45 [17a-C5-10] スパッタ成膜AlN上単結晶ナノコラムのフリップチップボンディング ○林宏暁1,富松大典1,福島大史1,野間友博1,野村一郎1,岸野克巳1,2 (上智大1,上智大ナノテク研究センタ2) キーワード:窒化物,ナノコラム,フリップチップ