PDF ダウンロード スケジュール 11 いいね! 0 11:15 〜 11:30 [17a-C5-9] パターニングによるAlNスパッタ膜上窒化物ナノコラムの結晶品質制御 ○福島大史1,林宏暁1,今野裕太1,岸野克巳1,2 (上智大1,上智大ナノテク2) キーワード:ナノコラム