2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13.半導体A(シリコン) » 13.4 デバイス/集積化技術

[17a-PA3-1~7] 13.4 デバイス/集積化技術

2014年9月17日(水) 09:30 〜 11:30 PA3 (第1体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PA3会場)

09:30 〜 11:30

[17a-PA3-3] 高速、パルス測定によるSuper Steep Cut Off SOI Deviceのヒステリシス特性の変化

蔵本陽介1,井田次郎1,新井康夫2 (金沢工大工1,高エネ研2)

キーワード:SOI, ヒステリシス