2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

[17p-A19-1~12] 絶縁膜上におけるⅣ族系半導体結晶薄膜の低温成長-新しい結晶成長技術への期待-

2014年9月17日(水) 13:15 〜 17:45 A19 (E311)

16:00 〜 16:30

[17p-A19-7] 金属誘起層交換成長による非晶質基板上Ge薄膜の結晶方位制御(30分)

都甲薫1,中沢宏紀1,大谷直生1,宇佐美徳隆2,末益崇1 (筑波大院1,名大院2)

キーワード:ゲルマニウム,金属誘起成長,結晶方位制御