[17p-S8-1~13] 3.8 光計測技術・機器

[17p-S8-8] 白色反射光計測によるウェハ厚さ測定における表面性状の影響

^○小貫哲平，尾嶌裕隆，清水淳，周立波 (茨大工)

キーワード：薄ウェハ,厚さ計,表面性状