11:15 〜 11:30
△ [18a-A12-8] アモルファスIZO, IGO, IGZO薄膜の結晶化(1):IZOとIGO薄膜の結晶化挙動
キーワード:In2O3-ZnO,In2O3-Ga2O3,Crystallization
一般セッション(口頭講演)
合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス
2014年9月18日(木) 09:15 〜 11:45 A12 (E301)
11:15 〜 11:30
キーワード:In2O3-ZnO,In2O3-Ga2O3,Crystallization