2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[18a-A12-1~9] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年9月18日(木) 09:15 〜 11:45 A12 (E301)

11:15 〜 11:30

[18a-A12-8] アモルファスIZO, IGO, IGZO薄膜の結晶化(1):IZOとIGO薄膜の結晶化挙動

賈軍軍,早瀬礼,吉田匡佑,中村新一,重里有三 (青学大理工)

キーワード:In2O3-ZnO,In2O3-Ga2O3,Crystallization