[18a-A17-1~13] 15.6 IV族系化合物

[18a-A17-13] SiCの陽極酸化プロセスにおける光照射に関する検討

^○（M1）日高公崇香¹，渡和樹¹，岩谷素顕¹，上山智¹，赤﨑勇^1,2 (名城大理工¹，赤﨑記念研究センター²)

キーワード：ポーラス,SiC,陽極酸化