[18p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [18p-A12-16] シリコン添加により制御された酸化インジウム薄膜トランジスタ

^○（PC）三苫伸彦，相川慎也，高旭，木津たきお，清水麻希，林孟芳，生田目俊秀，塚越一仁 (物材機構WPI-MANA)

キーワード：SiM-Ox,InSiO,oxide TFT