[18p-A17-1~12] 15.6 IV族系化合物

[18p-A17-1] ATR-FTIR法を用いたSiC基板上La2O3とSiNとの界面反応の解析

^○雷一鳴¹，宗清修¹，角嶋邦之²，川那子高暢²，片岡好則²，西山彰²，杉井信之²，若林整²，筒井一生²，山川聡³，岩井洋¹，古橋壮之³，三浦成久³，名取研二¹ (東工大フロンティア研¹，東工大総理工²，三菱電機³)

キーワード：SiC,La-silicate