[18p-A18-1~15] 3.15 シリコンフォトニクス

[18p-A18-10] MOS型Si光変調器とGe受光器の集積化とCMOS駆動による高速動作

^○藤方潤一¹，高橋重樹¹，高橋正志²，野口将高¹，野口栄実³，栗原充¹，堀川剛²，中村隆宏¹，荒川泰彦⁴ (PETRA¹，産総研²，NEC³，東大⁴)

キーワード：シリコン光変調器,ゲルマニウム受光器,シリコンフォトニクス集積回路