講演情報

Tweet

一般セッション(ポスター講演)

15．結晶工学 » 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[18p-PB10-1~11] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB10 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30～15:30(PB10会場)

13:30 〜 15:30

[18p-PB10-4] 伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)の微細構造および電気的特性への熱処理の影響

^○宇津山直人¹，有元圭介¹，山中淳二¹，中川清和¹，宇佐美徳隆²，澤野憲太郎³ (山梨大クリスタル研¹，名大²，東京都市大総研³)

キーワード：半導体,Si