13:30 〜 15:30
[18p-PB6-1] CF4とArプラズマでエッチングしたAlGaN表面ダメージ
キーワード：エッチングダメージ,AlGaN,CF4
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[18p-PB6] 8.4 プラズマエッチング
2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB6 (第2体育館)
ポスター掲示時間13:30～15:30(PB6会場)
一般セッション(ポスター講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
2014年9月18日(木) 13:30 〜 15:30 PB6 (第2体育館)
ポスター掲示時間13:30～15:30(PB6会場)
13:30 〜 15:30
キーワード：エッチングダメージ,AlGaN,CF4