[19a-A15-1~9] 13.1 基礎物性・表面界面現象・シミュレーション

[19a-A15-2] バッチ式超音波洗浄におけるウエハガイド起因洗浄むらの低減

^○高橋広毅¹，大川真樹² (日立横研¹，国際電気セミコンダクターサービス²)

キーワード：洗浄,超音波