[19a-A16-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[19a-A16-4] 液浸ラマン分光法による選択的イオン注入により作製された一軸歪SiGe/Siの異方性2軸応力評価

^○山本章太郎¹，小瀬村大亮¹，富田基裕^1,3，武内一真¹，横川凌¹，米倉瑛介²，澤野憲太郎²，野平博司²，小椋厚志¹ (明治大理工¹，東京都市大²，学振特別研究員DC³)

キーワード：一軸歪,液浸ラマン分光法,選択的イオン注入