[19p-A27-1~17] 14.1 探索的材料物性

[19p-A27-15] n型β-FeSi₂多結晶薄膜/p-Siヘテロ接合における電流-電圧特性のキャリア密度依存性

^○服部哲，東貴彦，塚本裕明，山口陽己，寺井慶和 (鹿児島大理工)

キーワード：シリサイド