[19p-C5-1~12] 窒化物半導体特異構造の科学〜物性評価と結晶学の構築へ〜

[19p-C5-2] 窒化物半導体結晶特異構造の構造解析評価－マルチスケール評価へのアプローチ－（30分）

^○酒井朗¹，竹内正太郎¹，中村芳明¹，三宅秀人²，平松和政²，今井康彦³，木村滋³ (阪大院基礎工¹，三重大院工²，JASRI/SPring-8³)

キーワード：X線マイクロ回折,マルチスケール,歪