[19p-PB7-1~6] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [19p-PB7-4] パワーデバイス用結晶の評価(Ⅸ) SiC基板中の積層欠陥の透過電子顕微鏡による評価(2)

^○白取美帆¹，永井哲也²，野網健吾²，中居克彦²，二木登史郎²，山本秀和¹ (千葉工大工¹，日鉄住金テクノロジー²)

キーワード：透過電子顕微鏡,積層欠陥