[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-14] 酸素・中性粒子ビームによる酸化・錯体反応を用いた遷移金属エッチングメカニズム

^○久保田智広¹，菊地良幸^1,2，谷勛²，野沢俊久²，寒川誠二^1,3 (東北大流体研¹，東京エレクトロン²，東北大WPI-AIMR³)

キーワード：磁性体エッチング,第一原理理論計算,遷移金属錯体