[19p-S10-1~18] 8.4 プラズマエッチング

[19p-S10-15] 第一原理理論計算による中性粒子ビーム生成メカニズムの定量的予測

^○久保田智広¹，渡辺尚貴²，大塚晋吾²，岩崎拓也²，小野耕平²，入江康郎²，寒川誠二^1,3 (東北大流体研¹，みずほ情報総研²，東北大WPI-AIMR³)

キーワード：中性粒子ビーム,第一原理理論計算,グラファイト