[19p-S9-1~5] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19p-S9-2] プラズマインジケータ（２）～プラズマインジケータを用いたプラズマ分布診断法～

^○菱川敬太^1,2，宮﨑裕司¹，釆山和弘¹，井上浩¹，酒井道² (サクラクレパス¹，京大院工²)

キーワード：プラズマ診断,面内分布,インジケータ