PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 14:00 〜 14:15 [19p-S9-4] リモート窒素プラズマが照射されたSiC表面における窒素原子組成比:活性種の影響 ○嶋林正晴1,栗原一彰2,佐々木浩一1 (北大工1,東芝研究開発センター2) キーワード:SiC,リモート窒素プラズマ