[19p-S9-1~5] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19p-S9-4] リモート窒素プラズマが照射されたSiC表面における窒素原子組成比：活性種の影響

^○嶋林正晴¹，栗原一彰²，佐々木浩一¹ (北大工¹，東芝研究開発センター²)

キーワード：SiC,リモート窒素プラズマ