[20a-A13-1~8] 7.4 Nanoimprint

[20a-A13-3] Fabrication of LaRuO nano-pattern by rheology printing

^○Koji Nagahara¹, Daisuke Hirose², Jinwang Li², Eisuke Tokumitsu^1,2, Tatsuya Shimoda^1,2 (JAIST¹, GDRC²)

Keywords:レオロジープリンティング,ナノインプリント,金属酸化物