[20a-A20-1~15] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-A20-15] Siウェーハの曲げ強度に対する表層窒素濃度の影響

^○須藤治生¹，荒木浩司¹，日高洋美¹，荒木延恵¹，竹内正太郎²，中村芳明²，酒井朗²，泉妻宏治¹ (グローバルウェーハズ・ジャパン¹，阪大²)

キーワード：シリコンウェーハ,窒素,強度