[17a-F4-1~11] 7.6 イオンビーム一般

2014年3月17日(月) 09:30 〜 12:30 F4 (F304)

△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし

09:30 〜 09:45

[17a-F4-1] イオンビームスパッタ成膜とリフトオフプロセスによる10nm微細金属パターンの形成

^○三輪和弘，西村高志，土田智之，杉山嘉也，小島靖彦，伊藤高臣，永井佐利 (エリオニクス)

09:45 〜 10:00

^○（M2）安達正哲，吉田黎，柳沢淳一 (滋賀県立大工)

10:00 〜 10:15

^○鈴木雅視，柳谷隆彦 (名工大)

10:15 〜 10:30

^○辻博司，宮川豪，後藤康仁 (京大院工)

10:30 〜 10:45

^○（PC）大石乾詞¹，坂本哲夫¹，川上勇²，奥村丈夫³ (工学院大工¹，阿藤工務店²，日本中性子光学³)

休憩 10:45〜11:00 (10:45 〜 11:00)

11:00 〜 11:15

^○本橋健次^1,3，齋藤勇一²，宮脇信正²，的場史朗²，鈴木優紀³ (東洋大理工¹，原子力機構高崎²，東洋大院工³)

11:15 〜 11:30

^○藤原幸雄，齋藤直昭 (産総研)

11:30 〜 11:45

^○安田啓介¹，石神龍哉¹，中田吉則¹，日比章五² (若狭湾エネ研¹，豊田中研²)

11:45 〜 12:00

^○長嶋悟¹，坂本哲夫²，佐藤孝樹³，藤井正明³ (トヤマ¹，工学院大²，東工大³)

12:00 〜 12:15

^○草刈将一，藤井麻樹子，瀬木利夫，青木学聡，松尾二郎 (京大)

12:15 〜 12:30

^○藤井麻樹子，草刈将一，中川駿一郎，瀬木利夫，青木学聡，松尾二郎 (京大院工)