昼食 12:30〜14:00 (12:30 〜 14:00)
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一般セッション(口頭講演)
08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[19p-F6-1~18] 8.4 プラズマエッチング
2014年3月19日(水) 14:00 〜 19:00 F6 (F306)
△：奨励賞エントリー
▲：英語発表
▼：奨励賞エントリーかつ英語発表
空欄：どちらもなし
14:00 〜 14:15
○重歳卓志，深沢正永，長畑和典，辰巳哲也 (ソニー)
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14:15 〜 14:30
○松田和久，佐々木俊行，大村光広，林久貴 (東芝 S&S社)
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14:30 〜 14:45
○溝谷浩平，三宅啓太，礒部倫郎，唐橋一浩，浜口智志 (阪大工)
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14:45 〜 15:00
○李虎1，村木裕1，唐橋一浩1，深沢正永2，長畑和典2，辰巳哲也2，浜口智志1 (阪大院工1，ソニー2)
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15:00 〜 15:15
○（DC）近藤祐介，宮脇雄大，竹田圭吾，近藤博基，田嶋聡美，石川健治，林俊雄，関根誠，堀勝 (名大院工)
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15:15 〜 15:30
○笠嶋悠司，本村大成，鍋岡奈津子，上杉文彦 (産総研 生産計測)
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休憩 15:30〜15:45 (15:30 〜 15:45)
15:45 〜 16:00
○（M2）劉沢セイ，加古隆，石川健治，小田修，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝 (名大院工)
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16:00 〜 16:15
▼ [19p-F6-8] Mechanism of Surface Roughness of ArF Photoresist During HBr Plasma Etching Processes (2)
○（M1）張彦，石川健治，竹田圭吾，近藤博基，関根誠，堀勝 (Nagoya Univ.)
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16:15 〜 16:30
○江利口浩二1，深沢正永2，鷹尾祥典1，辰巳哲也2，斧高一1 (京大院工1，ソニー2)
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16:30 〜 16:45
亀井政幸，○江利口浩二，鷹尾祥典，斧高一 (京大院工)
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16:45 〜 17:00
○唐橋一浩1，村木裕1，李虎1，松隈正明2，浜口智志1 (阪大院工1，東京エレクトロン2)
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17:00 〜 17:15
○唐橋一浩1，瀬木利夫2，松尾二郎2，浜口智志1 (阪大院工1，京大院工2)
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休憩 17:15〜17:30 (17:15 〜 17:30)
17:30 〜 17:45
○久保田智広1，佐藤充男2，岩崎拓也3，小野耕平3，寒川誠二1,4 (東北大流体研1，原田産業2，みずほ情報送検3，東北大WPI-AIMR4)
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17:45 〜 18:00
○エルマンモハマド1,5，岡田健1，磯田大河3,5，伊藤公平3,5，山下一郎4,5，寒川誠二1,2,5 (東北大流体研1，東北大WPI2，慶大3，奈良先端大4，JST-CREST5)
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18:00 〜 18:15
○HalubaiSekhar1，久保田智広1，岡田健1,4，太田実雄3，藤岡洋3,4，寒川誠二1,2,4 (東北大流体研1，東北大WPI-AIMR2，東大生産研3，JST-CREST4)
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18:15 〜 18:30
○ThomasCedric1，田村洋典1，肥後昭男2，岡田健1，寒川誠二1,2 (東北大流体研1，東北大WPI2)
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18:30 〜 18:45
○林俊雄，石川健治，関根誠，堀勝 (名大)
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18:45 〜 19:00
○辻幸洋，町長賢一，稲田博史，勝山造 (住友電工)
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